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低溫高效的表面激活鍵合技術(shù) —— Er,Yb:Glass+Co:spinel鍵合晶體的制備與應(yīng)用

引言

隨著激光技術(shù)與光電子器件在工業(yè)、通信、醫(yī)療等領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用,對(duì)激光材料的要求也日益提高。尤其在高功率、眼安全激光器及集成化光器件中,如何保證激光增益介質(zhì)與其他功能材料之間的高質(zhì)量結(jié)合,成為關(guān)鍵技術(shù)難題。CryLink產(chǎn)品頁(yè)面展示了一種基于表面激活鍵合技術(shù)制備Er,Yb:Glass+Co:spinel鍵合晶體的先進(jìn)方法,該方法在低溫條件下實(shí)現(xiàn)了高質(zhì)量的無(wú)機(jī)材料鍵合,為激光系統(tǒng)帶來(lái)了多方面的性能提升。

鍵合晶體
圖1. 鍵合晶體,Crylink

表面激活鍵合技術(shù)的原理

傳統(tǒng)的高溫鍵合技術(shù)常常需要在高溫環(huán)境下使不同材料熔融、擴(kuò)散,從而實(shí)現(xiàn)粘結(jié)。然而,高溫工藝容易導(dǎo)致熱應(yīng)力、晶格畸變以及界面雜質(zhì)殘留,嚴(yán)重影響器件的光學(xué)性能和使用壽命。表面激活鍵合技術(shù)則是一種在低溫或常溫條件下實(shí)現(xiàn)材料間直接鍵合的方法,其核心原理在于對(duì)材料表面進(jìn)行預(yù)處理,通過(guò)離子轟擊、等離子體清洗或化學(xué)活化等手段,將表面污染物、氧化層及拋光殘留物去除,同時(shí)引入活性位點(diǎn)或未飽和鍵。經(jīng)過(guò)這種激活處理后,將Er,Yb:glass與Co:spinel晶體在極低溫度下接觸,并施加一定壓力,促使兩種材料的原子在界面處重新排列、相互擴(kuò)散和形成共價(jià)鍵,從而實(shí)現(xiàn)牢固、純凈的無(wú)機(jī)鍵合。

硅-硅表面活性鍵合工藝流程示意圖
圖 2. 硅-硅表面活性鍵合工藝流程示意圖

Er,Yb:Glass與Co:spinel的材料優(yōu)勢(shì)

Er,Yb:Glass作為一種摻雜了鉺(Er)和鐿(Yb)的光學(xué)玻璃,具有出色的光學(xué)增益和能量轉(zhuǎn)移性能。Yb離子具有寬帶吸收特性,可高效吸收泵浦光能量并將其傳遞給Er離子,后者在合適條件下實(shí)現(xiàn)激光輻射,尤其適用于1.5μm波段的眼安全激光器。與此同時(shí),Co:spinel晶體以其優(yōu)異的機(jī)械穩(wěn)定性、低熱膨脹系數(shù)以及特殊的磁光性質(zhì),被廣泛用于被動(dòng)Q開(kāi)關(guān)和其他光調(diào)制應(yīng)用中。將Er,Yb:Glass與Co:spinel鍵合,不僅能在低溫下保證兩者界面的高質(zhì)量結(jié)合,還能充分發(fā)揮各自的光學(xué)和熱學(xué)優(yōu)勢(shì),降低因溫度變化產(chǎn)生的界面應(yīng)力,提升整體器件的穩(wěn)定性和壽命。

Er,Yb:glass + Co:spinel鍵合晶體
圖 3. Er,Yb:glass + Co:spinel鍵合晶體,鍵合晶體,Crylink

表面激活鍵合的顯著優(yōu)勢(shì)

CryLink產(chǎn)品頁(yè)面詳細(xì)介紹了采用表面激活鍵合技術(shù)制備Er,Yb:Glass+Co:spinel鍵合晶體的多項(xiàng)優(yōu)勢(shì),這些優(yōu)勢(shì)主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:

  • 低溫制備,減少熱應(yīng)力

表面激活鍵合技術(shù)在低溫或常溫條件下進(jìn)行,有效避免了高溫下傳統(tǒng)熔融鍵合中常見(jiàn)的熱應(yīng)力問(wèn)題,從而使得制備的鍵合晶體內(nèi)部無(wú)明顯應(yīng)力集中,不會(huì)引起材料性能的下降或光學(xué)傳輸損耗。

  • 界面純凈,吸收損耗極低

經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的表面激活預(yù)處理后,Er,Yb:Glass與Co:spinel晶體之間的界面雜質(zhì)被大幅去除,從而實(shí)現(xiàn)了極高的鍵合純凈度。實(shí)驗(yàn)表明,鍵合面吸收損耗通常低于20ppm,同時(shí)界面形貌變化極小(小于λ/8),為激光器提供了低損耗、高傳輸效率的關(guān)鍵保障。

  • 工藝可控性強(qiáng),適應(yīng)性廣

采用離子轟擊或等離子體清洗等技術(shù),可精細(xì)調(diào)控表面激活參數(shù),實(shí)現(xiàn)不同材料間的精確匹配。無(wú)論是玻璃與晶體、金屬與半導(dǎo)體之間的無(wú)機(jī)鍵合,還是復(fù)雜多層結(jié)構(gòu)的制備,表面激活鍵合均能在較寬工藝窗口內(nèi)穩(wěn)定運(yùn)行,大大提高了工藝的可靠性和重復(fù)性。

  • 提高器件性能,延長(zhǎng)使用壽命

通過(guò)低溫制備出的鍵合晶體,不僅保持了Er,Yb:Glass的高增益性能和Co:spinel的被動(dòng)Q開(kāi)關(guān)特性,還能在高功率激光器運(yùn)行中有效降低熱梯度,減少熱透鏡效應(yīng)。最終,這種高質(zhì)量的鍵合技術(shù)顯著提高了激光器的輸出穩(wěn)定性、光束質(zhì)量以及整體工作壽命。

 加工車(chē)間
圖4. 加工車(chē)間,Crylink

應(yīng)用前景及未來(lái)發(fā)展

由于Er,Yb:Glass+Co:spinel鍵合晶體在低溫下實(shí)現(xiàn)了高質(zhì)量的無(wú)機(jī)鍵合,CryLink產(chǎn)品為激光系統(tǒng)提供了更高的能量轉(zhuǎn)換效率和更好的熱管理性能。這種技術(shù)在激光測(cè)距、激光雷達(dá)、光通信、醫(yī)療診斷等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。特別是在眼安全激光器領(lǐng)域,1.5μm波段的激光不僅符合國(guó)際安全標(biāo)準(zhǔn),還能在復(fù)雜環(huán)境下實(shí)現(xiàn)高精度遠(yuǎn)距離測(cè)量。

未來(lái),隨著表面激活鍵合技術(shù)的不斷優(yōu)化和新型活性材料的引入,有望進(jìn)一步降低界面損耗、提高鍵合強(qiáng)度,并實(shí)現(xiàn)更多種類(lèi)材料間的異質(zhì)集成。與此同時(shí),通過(guò)對(duì)界面工程和工藝參數(shù)的深入研究,這一技術(shù)將為激光器小型化、集成化提供更為理想的解決方案,推動(dòng)新一代高性能激光器和光電子器件的研發(fā)進(jìn)程。

1535nm人眼安全激光器
圖5. 1535nm人眼安全激光器,Crylink

結(jié)語(yǔ)

CryLink采用的表面激活鍵合技術(shù)突破了傳統(tǒng)高溫鍵合的諸多局限,以低溫工藝實(shí)現(xiàn)Er,Yb:Glass與Co:spinel晶體的無(wú)機(jī)鍵合,既保證了兩種材料原有性能的完整性,又大幅降低了界面吸收損耗和熱應(yīng)力,顯著提升了激光器的輸出穩(wěn)定性和使用壽命。正是這種技術(shù)優(yōu)勢(shì),使得Er,Yb:Glass+Co:spinel鍵合晶體成為激光系統(tǒng)中不可或缺的核心部件之一。未來(lái),隨著相關(guān)技術(shù)的不斷進(jìn)步和應(yīng)用領(lǐng)域的不斷拓展,表面激活鍵合技術(shù)必將在高功率激光器、光通信及其他高端光電子領(lǐng)域發(fā)揮越來(lái)越重要的作用,為行業(yè)帶來(lái)更多創(chuàng)新與突破。

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